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Leistungselektronik JENA GmbH | Luxyr Deep UV Beleuchtungssystem - Hg-Xe Mischgas Gasentladungsbeleuchtung bestehend aus Lampenhaus mit integrierter Zündung und Vorschaltgerät

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Leistungselektronik JENA GmbH

Stockholmer Str. 5
D-07747 Jena

Deutschland

Telefon: +49 3641 3530-30
Fax: +49 3641 3530-70
Mail: sales@lej.de

WEB: https://lej.de/en/products/

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Details

Leistungselektronik JENA GmbH | Luxyr Deep UV Beleuchtungssystem - Hg-Xe Mischgas Gasentladungsbeleuchtung bestehend aus Lampenhaus mit integrierter Zündung und Vorschaltgerät

 

Das Luxyr Deep UV Beleuchtungssystem von Leistungselektronik JENA GmbH bietet eine extrem stabile UV-Strahlung aufgrund der geringen thermischen Drift und der sehr stabilen Gleichstromversorgung von unserem Vorschaltgerät.

Darüber hinaus ermöglicht unser System eine reproduzierbare mechanische Einstellung von Lampe, Spiegel und Kollektor. Somit ist das Luxyr Deep-UV-System geeignet für die Wafer-Inspektion oder zur Beleuchtung während der optischen Überprüfung und Analyse von Fotomasken, insbesondere von Strukturen und Linienbreiten auf Fehler und Mängel.


Produkthighlights:

  • Keine thermische Drift
  • Reproduzierbare mechanische Einstellung
  • Integrierte Hochspannungszündung
  • Kompaktes robustes Lampengehäuse
  • Sicherheitskreislauf-Funktion
  • Betriebsstunden-Zähler


Anwendungsbereiche:

  • UV-Mikroskopie
  • Fotomaskenanalyse
  • Wafer-Inspektion
  • Desinfektion
  • UV-Härtung

 

 

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