Leistungselektronik JENA GmbH | Luxyr Deep UV Beleuchtungssystem - Hg-Xe Mischgas Gasentladungsbeleuchtung bestehend aus Lampenhaus mit integrierter Zündung und Vorschaltgerät

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Leistungselektronik JENA GmbH | Luxyr Deep UV Beleuchtungssystem - Hg-Xe Mischgas Gasentladungsbeleuchtung bestehend aus Lampenhaus mit integrierter Zündung und Vorschaltgerät

Das Luxyr Deep UV Beleuchtungssystem von Leistungselektronik JENA GmbH bietet eine extrem stabile UV-Strahlung aufgrund der geringen thermischen Drift und der sehr stabilen Gleichstromversorgung von unserem Vorschaltgerät.

Darüber hinaus ermöglicht unser System eine reproduzierbare mechanische Einstellung von Lampe, Spiegel und Kollektor. Somit ist das Luxyr Deep-UV-System geeignet für die Wafer-Inspektion oder zur Beleuchtung während der optischen Überprüfung und Analyse von Fotomasken, insbesondere von Strukturen und Linienbreiten auf Fehler und Mängel.