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ASI - MS-2000 Flat-Top XY Scanning Tisch

Applied Scientific Instrumentation

ASI | MS-2000 Flat-Top XY Scanning Tisch für Präzisionsmikroskopie

Micrasys e. K.
Inhaber: Frank Pobig
Panoramablick 11
D-35745 Herborn
Deutschland
Telefon: +49 (0)2772 82466
Mobil: + 49 (0)163 7733917
Fax: +49 (0)3212 1220079
Email:
Web: https://micrasys.com/

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Hersteller Applied Scientific Instrumentation

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Beschreibung

Der MS-2000 wurde espeziel für Anwendungen mit hohen Anforderungen an Wiederholgenauigkeit und Auflösung in der XY Achse designed. Der Tisch kann in Verbindung mit den bewährten MCL Z-Achsen-Motorantrieben von ASI verwendet werden. Seine hohe Auflösung und ausgezeichnete Wiederholgenauigkeit über den gesamten Verfahrbereich erhält der Tisch u.a. durch präzise Closed-Loop DC Servomotoren mit integrierten hochauflösenden rotatorischen Encodern zur Positionsrückmeldung. Die Closed-Loop Steuerung schließt ein Verlust der Tischposition aus, wie es nach einer Anzahl Bewegungszyklen bei herkömmlichen Open-Loop Mikroschritt-Tischen der Fall sein kann. The MS-2000 XY stage utilizes crossed-roller slides, a high-precision lead screw, and zero-backlash miniature geared DC servomotors for smooth and accurate motion. The microprocessor-controlled MS-2000 control unit provides for RS-232 and USB communication with a host computer.

MS-2000 Features
MS-2000 Options
MS-2000 Lead Screw Options
 
Lead Screw Pitch Options Rotary Encoder Resolution Maximum Speed
25.40 mm (Ultra-coarse) 88 nm 28 mm/sec
12.70 mm (Super-coarse) 44 nm 14 mm/sec
6.35 mm (Standard) 22 nm 7 mm/sec
1.59 mm (Fine) 5.5 nm 1.75 mm/sec
0.635 mm (Extra-fine) 2.2 nm 0.7 mm/sec


MS-2000 Linear Encoder Options
 
Axis Resolution Scale Accuracy
XY 10 nm ± 3 μm per length of scale

 

Weitere Instrumente