ASI - PZ-2000FT Serie flacher XYZ Scanningtisch mit integrierter Piezo Z-Achse

Der PZ-2000FT wurde speziell für Anwendunge mit besonderen Anforderungen an Auflösung und Wiederholgenauigkeit in allen drei XYZ Achsen entwickelt. Seine hohe Auflösung und ausgezeichnete Wiederholgenauigkeit erhält der Tisch durch präzise Closed-Loop DC Servomotore mit integrierten hochauflösenden rotatorischen Encodern zur Positionsrückmeldung. Die Closed-Loop Steuerung schließt ein Verlust der Tischposition aus, wie es nach einer Anzahl Bewegungszyklen bei den herkömmlichen Open-Loop Mikroschritt-Tischen der Fall sein kann. Seinen feinen und akkuraten Bewegungsablauf erhält der ultraflache XY Scanning Tisch durch den Einsatz von speziellen Kreuzrollenführungen, hochpräzisen Kugelumlaufspindeln und spielfreien DC Servomotoren mit Miniaturgetriebe. Das Oberteil mit einem Ausbruch von 160 x 110 mm ist kompatibel zu einem umfangreichen Sortiment Einlegerahmen. Der Piezo Z-Achsen Einsatz, der die Probe in einem 150µm (300µm und 500µm optional) Verstellbereich blitzschnell und in Nanometer-Genauigkeit positioniert, ist im Oberteil integriert. Durch das Verfahren der gesamten Probe kann jedes Objektiv genutzt werden und eine Kabelverdrehung, wie dies bei einzeln an die Objektive montierter Piezosysteme üblich ist, wird ausgeschlossen. Unsere MS-2000 Mikroprozessor Steuerungen kommunizieren über RS-232 oder USB Schnittstellen mit dem Computer und steuern alle drei Achsen.