ZEISS | Axio Imager Vario - Aufrechtes Mikroskop für große Proben
Das ZEISS Axio Imager Vario ist ideal zur Analyse von großen Proben und MEMS-Sensoren. Das innovative Säulendesign ermöglicht es, sehr große Proben stabil zu untersuchen. Es ist zudem speziell für den Einsatz in Reinräumen zertifiziert, was es besonders geeignet für die Untersuchung von Wafern und Fotomasken macht.
Große Proben untersuchen: Wählen Sie zwischen manueller oder motorischer Säule für Proben bis zu 300 × 300 mm und 254 mm Höhe. Die robuste Säulenbauform verhindert Vibrationen und sorgt für Stabilität, selbst bei der Verwendung schwerer Proben oder konfokaler Laser-Scanning-Mikroskope wie dem ZEISS LSM.
Zertifizierung für Reinräume: Das Axio Imager Vario erfüllt die strengen Anforderungen der Reinraumklasse ISO 5, was es ideal für die Prüfung in Umgebungen macht, die hohe Sauberkeitsstandards erfordern.
Präziser Fokus: Mit dem Hardware Auto Focus System können auch reflektierende Oberflächen mit geringem Kontrast präzise untersucht werden. Das System bietet exakten Fokus sowohl im Auflicht als auch im Durchlicht und kompensiert automatisch Abweichungen.
Hardware Auto Focus: Das Axio Imager Vario gewährleistet präzise Fokussierung in der Materialforschung und Fertigung. Der Autofokus ist für eine Vielzahl von Anwendungen nutzbar, darunter Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisationskontrast und mehr, mit einem Fokusbereich von bis zu 12.000 µm.
